Вопросы к Поиску с Алисой
Принципиальное отличие фотолитографии от других видов литографии заключается в способе экспонирования. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
В фотолитографии экспонирование производится светом (видимым или ультрафиолетовым). ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru В других видах литографии для этого используют рентгеновское излучение (рентгеновская литография), поток электронов (электронно-лучевая литография) или ионы (ионно-лучевая литография) и другое. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru
Некоторые другие виды литографии: