Какие существуют виды литографии в микроэлектронике?

Некоторые виды литографии в микроэлектронике:

• Фотолитография. xn--80akfo2a.xn--p1ai На её принципах строится почти вся технология микроэлектроники. xn--80akfo2a.xn--p1ai
• Литография на основе излучения глубокого ультрафиолета (ГУФ, DUF). xn--80akfo2a.xn--p1ai Используются длины волн 248 нм (KrF) и 193 нм (ArF). xn--80akfo2a.xn--p1ai
• Литография с источниками экстремального ультрафиолета (ЭУФ, EUF). xn--80akfo2a.xn--p1ai Применяется для создания чипов с топологическими нормами менее 5 нм. xn--80akfo2a.xn--p1ai
• B-EUV-литография. habr.com Использует мягкое рентгеновское излучение с длиной волны 6,5–6,7 нм. habr.com Позволяет оптимизировать производство, уменьшая количество экспозиций и дефекты. habr.com
• Электронно-лучевая литография DUV. www.youtube.com
• Литография с источниками синхротронного излучения. t.me Является альтернативным подходом к DUV- и EUV-литографии. t.me

Кроме того, существуют специализированные решения, например, литограф для 3D-микроструктур от МФТИ, предназначенный для биоинженерии и фотоники. dzen.ru