Почему силаны применяются в микроэлектронике для создания сверхчистого поликремния?

Силаны применяются в микроэлектронике для создания сверхчистого поликремния, потому что позволяют добиться высочайшей чистоты, тончайшего контроля (вплоть до атомного размера) и наиболее гибких химических реакций. ru.avant-al.net

С помощью силанов получают ряд кремнийсодержащих веществ, таких как монокристаллический кремний, поликристаллический кремний, аморфный кремний, силицид металла, нитрид кремния, карбид кремния и оксид кремния. ru.avant-al.net

Кроме того, использование силанов для получения сверхчистого поликремния зарекомендовало себя как экономически целесообразное. ru.wikipedia.org libeldoc.bsuir.by