Как происходит производство поликристаллического кремния?

Традиционно поликристаллический кремний получают из технического кремния путём перевода его в летучие силаны (моносилан, хлорсиланы, фторсиланы). ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru Затем проводят разделение силанов, ректификационную очистку газа и восстановление его до кристаллического кремния. ru.wikipedia.org ru.ruwiki.ru

Один из методов производства — «Сименс-процесс». masters.donntu.ru ru.wikipedia.org Процесс происходит так: masters.donntu.ru

1. Исходное сырьё (трихлорсилан, ТХС) поступает на базисный склад хлоридов. masters.donntu.ru
2. ТХС подают в отделение очистки хлоридов, где он подвергается очистке на колоннах ректификации исходного цикла. masters.donntu.ru
3. Очищенный ТХС через расходные узлы подают на установки водородного восстановления. masters.donntu.ru Туда же подают тонкоочищенный газообразный водород (Н2). masters.donntu.ru
4. В реакторе установки водородного восстановления кремний извлекается из 10–15% поступившего ТХС. masters.donntu.ru Часть его (около 50%) превращается в тетрахлорид кремния (SiСl3, ТК). masters.donntu.ru
5. Из реактора парогазовая смесь, состоящая из водорода, ТХС, ТК и хлористого водорода (НСl), поступает на участок конденсации хлорсиланов или участок регенерации водорода. masters.donntu.ru
6. На участке конденсации хлорсиланов хлориды кремния конденсируются, а водород и хлористый водород поступают на санитарную очистку газов, где последний нейтрализуется известковым раствором. masters.donntu.ru
7. На участке регенерации водорода хлориды кремния конденсируются, хлористый водород вымораживается, а водород смешивается с тонкоочищенным водородом, полученным на участке получения водорода, и вновь подаётся в установки водородного восстановления. masters.donntu.ru

Также существует метод получения поликристаллического кремния через аморфную фазу методами гидролиза силанов, а также восстановления силанов в плазме ВЧ и СВЧ разрядов. ru.ruwiki.ru