Традиционно поликристаллический кремний получают из технического кремния путём перевода его в летучие силаны (моносилан, хлорсиланы, фторсиланы). 45 Затем проводят разделение силанов, ректификационную очистку газа и восстановление его до кристаллического кремния. 45

Один из методов производства — «Сименс-процесс». 14 Процесс происходит так: 1

1. Исходное сырьё (трихлорсилан, ТХС) поступает на базисный склад хлоридов. 1
2. ТХС подают в отделение очистки хлоридов, где он подвергается очистке на колоннах ректификации исходного цикла. 1
3. Очищенный ТХС через расходные узлы подают на установки водородного восстановления. 1 Туда же подают тонкоочищенный газообразный водород (Н2). 1
4. В реакторе установки водородного восстановления кремний извлекается из 10–15% поступившего ТХС. 1 Часть его (около 50%) превращается в тетрахлорид кремния (SiСl3, ТК). 1
5. Из реактора парогазовая смесь, состоящая из водорода, ТХС, ТК и хлористого водорода (НСl), поступает на участок конденсации хлорсиланов или участок регенерации водорода. 1
6. На участке конденсации хлорсиланов хлориды кремния конденсируются, а водород и хлористый водород поступают на санитарную очистку газов, где последний нейтрализуется известковым раствором. 1
7. На участке регенерации водорода хлориды кремния конденсируются, хлористый водород вымораживается, а водород смешивается с тонкоочищенным водородом, полученным на участке получения водорода, и вновь подаётся в установки водородного восстановления. 1

Также существует метод получения поликристаллического кремния через аморфную фазу методами гидролиза силанов, а также восстановления силанов в плазме ВЧ и СВЧ разрядов. 5