Современные процессоры изготавливаются с использованием литографических методов, потому что эта технология позволяет создавать сложные и уникальные микросхемы с высоким разрешением. 13

Литография — это технология, используемая для нанесения рисунка будущей микросхемы на слой фоторезиста посредством специальных литографических масок. 3 Важнейшей характеристикой литографического процесса является его разрешающая способность, от неё напрямую зависит минимальная толщина линии, которую можно нанести на фоторезисте. 3

В современном производстве процессоров применяется проекционная литография, обеспечивающая высокое разрешение. 3 В ней используются линзы или зеркала, позволяющие проецировать рисунок маски-шаблона с уменьшением масштаба. 3

Также литография позволяет уменьшить количество нанометров в микросхеме, что способствует миниатюризации её составных частей. 14