Некоторые отличия степпера от другого оборудования для фотолитографии:

• Принцип работы: степпер использует метод шага и повтора для экспонирования шаблонов масок большего размера, чем фактический размер, при уменьшенной проекционной экспозиции. 5 В процессе работы рисунок с маски многократно переводится в рисунок на различных частях полупроводниковой пластины. 23
• Название: степпер (от англ. step — шаг) получил своё название из-за того, что каждое экспонирование производится небольшими прямоугольными участками (порядка нескольких см²). 23 Для экспонирования всей пластины её передвигают шагами, кратными размеру экспонируемой области. 23
• Влияние «эффекта близости»: для степперов на определение «окна технологического процесса» значительное влияние оказывает «эффект близости», который проявляется в том, что необходимо подбирать энергию экспонирования для топологии в зависимости от её плотности. 4 При экспонировании на генераторе изображений данный эффект отсутствует. 4
• Фокусировка: в отличие от степперов, где для улучшения переноса изображения используется выравнивание по клину, в генераторах изображений фокусировка непрерывно отслеживает нахождение пластины под объективом и тем самым улучшает изображение даже для не совсем ровных пластин. 4