Какие существуют типы фоторезистов по чувствительности к различным длинам волн?

Некоторые типы фоторезистов по чувствительности к различным длинам волн:

• Фоторезисты для видимой области спектра. xumuk.ru
• Фоторезисты для ближнего ультрафиолетового излучения (320–450 нм). xumuk.ru
• Фоторезисты для дальнего ультрафиолетового излучения (180–320 нм). xumuk.ru
• Фоторезисты, чувствительные к глубокому (экстремальному) ультрафиолетовому излучению (ГУФ, EUV-литография). ru.ruwiki.ru ru.wikipedia.org
• Фоторезисты, чувствительные к рентгеновскому излучению (рентгеновская литография). ru.ruwiki.ru ru.wikipedia.org
• Фоторезисты, чувствительные к воздействию пучка электронов с энергией 5–50 кэВ (электронорезисты). xumuk.ru
• Фоторезисты, чувствительные к воздействию ионов лёгких элементов (например, H+, Не+, O+, Ar+) с энергией более 50 кэВ (ионорезисты). xumuk.ru

В целом, чем короче длина волны, тем выше разрешение обработки при одном и том же методе. ru.longchangchemical.com