Некоторые преимущества фоторезистов в сравнении с другими методами покрытия:

• Создание защитного рельефа требуемой конфигурации. 4 Под действием актиничного излучения, падающего на определённые участки слоя, он изменяет первоначальные свойства. 4 Освещённые участки перестают растворяться в растворителе, удаляющем участки слоя, не подвергшиеся освещению. 4
• Возможность управления светопропускной способностью. 1 Использование чёрных фоторезистивных материалов в качестве экранирующего или блокирующего слоя на линзах позволяет контролировать скорость отражения света. 1
• Использование в плоских дисплеях. 1 Покрытие из фоторезиста может быть использовано вокруг светоотражающих элементов для повышения контрастности и устранения дефектов распространения света. 1

Некоторые недостатки фоторезистов в сравнении с другими методами покрытия:

• Чувствительность негативных фоторезистов к кислороду. 23 Для их обработки требуются специальные условия: создание вакуума или работа в азотной среде. 23
• Недостаточная разрешающая способность негативных фоторезистов. 23 Многие фирмы переходят с негативных фоторезистов на позитивные из-за этого недостатка. 2
• Высокая стоимость позитивных фоторезистов. 23 Также у них меньшая чувствительность, чем у негативных фоторезистов. 23