Как режим сушки фоторезиста влияет на его качество и эффективность?

Режим сушки фоторезиста влияет на его качество и эффективность, так как от проведения этой операции во многом зависит качество формируемого в плёнке изображения. edu.tsu.ru

Некоторые аспекты влияния режима сушки:

• При высоких температурах происходит разрушение светочувствительных компонентов. elar.urfu.ru Это приводит к увеличению времени экспонирования и проявления или к полной потере светочувствительности и невозможности проведения экспонирования и проявления. elar.urfu.ru
• При низких температурах остатки растворителя могут повлиять на проведение экспонирования и проявления, вызвать прилипание фоторезиста к фотошаблону и отслоение фоторезиста от подложки при проявлении. elar.urfu.ru
• Слишком быстрая сушка может привести к возникновению механических напряжений в плёнке. www.hse.ru
• Недостаточная сушка (по времени и температуре) также приводит к похожим эффектам. edu.tsu.ru

Режимы сушки (температура, время, скорость подъёма и спада температуры) подбирают экспериментально в каждом конкретном случае. rep.bntu.by При любом методе сушки её режимы должны исключать появление структурных изменений в слое фоторезиста. www.hse.ru