Разница между негативным и позитивным фоторезистом заключается в их реакции на воздействие света. 3

В позитивных фоторезистах проэкспонированные области становятся растворимыми и после проявления разрушаются. 1 Такие фоторезисты, как правило, позволяют получать более высокие разрешения, чем негативные, но стоят дороже. 1

В негативных фоторезистах проэкспонированные области полимеризуются и становятся нерастворимыми, так что после проявления растворяются только непроэкспонированные области. 12 Негативные фоторезисты, как правило, обладают более высокой адгезией по сравнению с позитивными и более устойчивы к травлению. 1

Таким образом, в позитивных фоторезистах свет разрушает светочувствительный материал, и проявитель растворяет участки, которые подвергались воздействию света, оставляя после себя покрытие в том месте, где была нанесена маска. 3 В негативных фоторезистах светочувствительный материал укрепляется (полимеризуется или сшивается) под действием света, и проявитель растворяет только те участки, которые не подвергались воздействию света, оставляя после себя покрытие в тех местах, где маска не была нанесена. 3