В чем разница между негативным и позитивным фоторезистом?

Разница между негативным и позитивным фоторезистом заключается в их реакции на воздействие света. en.wikipedia.org

В позитивных фоторезистах проэкспонированные области становятся растворимыми и после проявления разрушаются. ru.ruwiki.ru Такие фоторезисты, как правило, позволяют получать более высокие разрешения, чем негативные, но стоят дороже. ru.ruwiki.ru

В негативных фоторезистах проэкспонированные области полимеризуются и становятся нерастворимыми, так что после проявления растворяются только непроэкспонированные области. ru.ruwiki.ru ru.wikipedia.org Негативные фоторезисты, как правило, обладают более высокой адгезией по сравнению с позитивными и более устойчивы к травлению. ru.ruwiki.ru

Таким образом, в позитивных фоторезистах свет разрушает светочувствительный материал, и проявитель растворяет участки, которые подвергались воздействию света, оставляя после себя покрытие в том месте, где была нанесена маска. en.wikipedia.org В негативных фоторезистах светочувствительный материал укрепляется (полимеризуется или сшивается) под действием света, и проявитель растворяет только те участки, которые не подвергались воздействию света, оставляя после себя покрытие в тех местах, где маска не была нанесена. en.wikipedia.org

Пользователь

Время добавления