Какие материалы используются для создания углеситалла УСБ?

Для создания углеситалла (УСБ) используют углеводороды и хлориды тугоплавких элементов, в частности бора и кремния. russkijmetall.ru

Процесс получения материала происходит в электровакуумном пиролизном реакторе с использованием таких реагентов, как природный газ, пропан, трёххлористый бор, метилтрихлорсилан, хлорид кремния и инертный газ (например, азот). cyberleninka.ru

Состав углеситалла регулируется соотношением вводимых реагентов. cyberleninka.ru