Некоторые преимущества сапфировых пластин перед кремниевыми:

• Высокая твёрдость. 2 Сапфир — самый твёрдый из оксидов. 1
• Хорошие теплофизические свойства. 1 Материал сохраняет свои качества при высоких температурах и имеет высокую теплопроводность. 12
• Превосходная прозрачность. 1 Сапфир химически устойчив ко многим кислотам и щелочам при температурах вплоть до 1000 °C. 1
• Высокие изолирующие свойства. 12 Это обеспечивает низкую паразитную ёмкость, что увеличивает быстродействие приборов на основе сапфира, а также низкую потребляемую мощность, лучшую линейность вольт-амперных характеристик и большую изоляцию элементов интегральных схем. 1
• Радиационная стойкость. 12 Структуры кремний-на-сапфире (КНС) обладают высокой радиационной стойкостью: до 108 рад при γ-облучении и до 1012 рад при облучении протонами. 1

Однако у сапфировых пластин есть и недостатки, например, высокая цена и отсутствие электрической проводимости, что усложняет процесс производства. 5