Система контроля чистоты воздуха в чистых помещениях включает следующие основные элементы: 1
Система управления подготовкой воздуха включает силовой шкаф, пульт для управления процессом и датчики для мониторинга параметров. 1 Управление происходит за счёт приведения в действие исполнительных устройств электрического либо электромеханического действия. 1
Система мониторинга аэрозольных частиц состоит из пробоотборника, коммуникаций и устройства, измеряющего концентрацию и размеры аэрозольных частиц. 2