Некоторые преимущества интерферометров по сравнению с другими оптическими приборами:

• Высокая чувствительность к рельефу поверхности. 1 Интерферометры позволяют измерять мельчайшие различия высоты исследуемой поверхности, что важно при работе с мелкоструктурными поверхностями. 3
• Не требуют механического контакта с тестируемой поверхностью. 1 Это исключает риск повреждения или деформации поверхности, который может возникнуть при использовании тестовых пластин или методов контактного зондирования. 1
• Возможность охватывать большие площади. 1 Интерферометры собирают до сотен тысяч точек данных за одно измерение. 1
• Быстрота сканирования. 2 Иногда время сканирования меньше 1 с, что повышает вероятность успешного завершения эксперимента. 2
• Возможность исследования широкой спектральной области. 2 В интерферометре за каждый малый интервал времени сканирования получается информация сразу обо всём спектральном диапазоне. 2
• Возможность регистрации слабых шумов. 2
• Малые габариты и вес интерферометра. 2