Интерферометры применяются в различных областях современного производства, где важны точные измерения. 24 Некоторые сферы использования:

• Контроль качества. 2 С помощью интерферометров выявляют дефекты деталей и узлов, что особенно важно в микроэлектронике и машиностроении. 2
• Настройка и калибровка оборудования. 2 Интерферометры используют для проверки и калибровки станков с ЧПУ, робототехнических комплексов и других систем, где важна высокая точность перемещений. 2
• Измерение микрорельефа поверхностей. 4 Интерферометры позволяют измерять шероховатость, дефекты, контролировать плоскостность, высоту ступенек и толщину плёнок. 4
• Измерение линейных и угловых перемещений. 2 Приборы используют для проверки геометрических параметров станков (прямолинейность, плоскостность, параллельность, угловые ошибки), а также диагностики динамических характеристик (биение, вибрации). 2
• Измерение толщины плёнки. 3 Это необходимо, например, в полупроводниковой и оптической промышленности. 3

Кроме того, интерферометры применяют в аддитивных технологиях, телекоммуникациях, производстве лазеров, на химических производствах и в астрономии. 1