В чем заключается принцип работы полупроводниковых датчиков давления?

Принцип работы полупроводниковых датчиков давления основан на функциональной зависимости между измеряемым давлением и упругими деформациями чувствительного элемента. 5

Процесс происходит так: измеряемое давление подаётся на внешнюю сторону измерительной мембраны, а на внутреннюю — базовое давление, например, давление окружающей среды. 2 Это позволяет регистрировать перепад давлений и вызываемый им прогиб измерительной мембраны. 2

Прогиб регистрируется расположенными на мембране пьезорезисторами и преобразуется ими в электрический сигнал. 23 Этот сигнал передаётся для обработки и оценки в систему индикации. 2

Таким образом, полупроводниковые датчики давления преобразуют физическое давление в электрический сигнал. 1