Как используется диффузия в современных технологиях, например, в производстве полупроводников?

Диффузия используется в производстве полупроводников для внедрения примесей в твёрдое тело при высокой температуре (800 °С для германия и 1250 °С для кремния). eor.dgu.ru В результате происходит изменение типа проводимости полупроводника. eor.dgu.ru

Некоторые методы диффузии в производстве полупроводников:

• Метод запаянной ампулы. eor.dgu.ru Пластины германия и кремния вместе с веществом, которое должно диффундировать, заключают в кварцевую ампулу, которую откачивают и запаивают. eor.dgu.ru Затем её помещают в печь и нагревают до необходимой температуры в течение времени, обеспечивающего проникновение диффузанта на заданную глубину. eor.dgu.ru
• Диффузия из газа-носителя. eor.dgu.ru Печь имеет зону низкой температуры, где располагается диффузант, и высокотемпературную зону — зону диффузии. eor.dgu.ru Пластины кремния помещаются в высокотемпературной зоне и омываются проходящим по трубе газом-носителем, насыщенным парами диффузанта. eor.dgu.ru
• Диффузия из рекристаллизованного слоя. eor.dgu.ru Применяется в производстве диффузионно-сплавных приборов, главным образом транзисторов. eor.dgu.ru В полупроводник сначала вплавляют сплав, содержащий диффузант. eor.dgu.ru После получения однородного сплава с полупроводником температуру несколько снижают, и на границе расплав — твёрдое тело выпадает некоторое количество полупроводника, захватывая с собой часть примеси. eor.dgu.ru

Также в производстве полупроводников используют диффузию с полимерными диффузантами. journals.ioffe.ru Процесс разбивается на две стадии: формирование на поверхности стеклообразной плёнки диффузанта и диффузия легирующей примеси из этой плёнки в полупроводник. journals.ioffe.ru

Пользователь

Время добавления