Шероховатость поверхности образца влияет на точность измерения твёрдости следующим образом: при значительном уровне шероховатости увеличивается разброс данных и происходит смещение оценки истинного значения твёрдости измеряемой поверхности. 4

По данным ГОСТ Р 8.748-2011, шероховатость поверхности — причина неопределённости зоны контакта при очень небольшой глубине индентирования. 1 При более глубоком индентировании неопределённость зоны контакта снижается, но неопределённость глубины индентирования пропорциональна среднему арифметическому значению неровности профиля поверхности. 1

Для повышения точности измерения твёрдости на сильно шероховатых поверхностях используют коррекцию значений с помощью данных о рельефе поверхности, полученных с помощью атомно-силового микроскопа или иного инструмента. 3