Чтобы отличить наречие «затем» от предлога «за тем», нужно определить часть речи по контексту. 3

Наречие «затем» пишется слитно, когда указывает на последовательность действий и по своему значению близко к «потом», «позже», «далее». 2 Например: «Сначала мы ехали по шоссе, а затем свернули на просёлочную дорогу». 2

Предлог «за тем» пишется раздельно, когда после него идёт существительное в творительном падеже и с помощью указательного местоимения указывается на какой-то предмет. 24 Например: «За тем холмом сможем сделать привал». 2

Также можно проверить, можно ли вставить между предлогом и словом определение в виде прилагательного или падежный вопрос. 1 Если это возможно, то «за тем» — предлог, если нет — наречие. 1