Как изготовить дифракционную решетку с высокой точностью?

Для изготовления дифракционной решётки с высокой точностью можно использовать, например, метод электронно-лучевой литографии. rosstip.ru cyberleninka.ru

Процесс включает следующие этапы: cyberleninka.ru

1. Вакуумное нанесение металлических плёнок. cyberleninka.ru
2. Нанесение резиста, чувствительного к потоку электронов. cyberleninka.ru
3. Электронно-лучевая литография с помощью растрового электронного микроскопа. cyberleninka.ru
4. Реактивно-ионное травление металлической плёнки через проявленный рельеф в резисте. cyberleninka.ru
5. Реактивно-ионное травление подложки через созданную в слое металла маску. cyberleninka.ru

Электронно-лучевая литография обеспечивает более высокое разрешение, чем оптическая литография, благодаря малости длины волны электронов. cyberleninka.ru

Также для изготовления дифракционных решёток используют нарезной способ, при котором микропрофиль штрихов формируют алмазным резцом на специальной делительной машине в слое металла, напыленного в вакууме на стеклянную подложку. patenton.ru

При изготовлении дифракционной решётки важно проверять её качество и правильность изготовления. q.minsk.by Для этого используют, например, визуальную проверку, оптическую проверку с источником света или сравнение с эталоном. q.minsk.by

Пользователь

Время добавления