Чистые помещения класса 4 чистоты (согласно международному стандарту ISO) используются в производстве интегральных микросхем по 2-микронной технологии (расстояние от одного проводника до другого). 2
Некоторые отрасли промышленности, где применяются такие помещения:
- Микроэлектроника. 14 В частности, для работ с открытыми пластинами (литография, травление, напыление и пр.). 4
- Приборостроение. 1 Например, для создания ЖК-дисплеев, где важны высокие параметры чистоты. 1
- Космическая промышленность. 1 Для создания аппаратов, которые отправятся в космос, необходимы чистые помещения 1–4 классов ISO. 1