Эпитаксия используется в различных областях промышленности, в том числе:
- Производство полупроводников. 23 Эпитаксия — единственный доступный метод выращивания высококачественных кристаллов для многих полупроводниковых материалов. 2
- Нанотехнологии. 3 Эпитаксия применяется там, где затруднено получение кристаллических материалов. 3
- Получение тонких плёнок и многослойных структур. 1 Например, метод молекулярно-лучевой эпитаксии используется для выращивания плёнок полупроводников, металлов, диэлектриков, магнитных материалов, высокотемпературных сверхпроводников и других веществ. 1
- Получение слоёв меди, вольфрама, молибдена и других металлов. 3
- Синтез углеродных соединений. 3 Например, с помощью эпитаксии получают искусственно выращенные ювелирные вставки, нанотрубки и другие материалы. 3