Некоторые преимущества использования MEMS-технологий в современных датчиках:

• Микроминиатюрность. 1 Применение технологии микросхем позволяет получать микромеханические и оптические узлы значительно меньших размеров, чем это возможно по традиционным технологиям. 1
• Высокая функциональность. 1 Миниатюрность изделия и возможность изготовления датчиков, обрабатывающих схем и исполнительных механизмов в одном устройстве позволяют создавать законченные системы достаточно большой сложности в одном корпусе. 1
• Улучшенные характеристики функционирования. 1 Электронная часть, а также электрические каналы связи с датчиками и механизмами, выполненные по интегральной технологии и имеющие малые размеры, позволяют улучшить такие характеристики, как рабочие частоты, ЭМС, соотношение сигнал/шум и т. п.. 1
• Высокая точность и повторяемость. 1 Интегральное изготовление чувствительных элементов вместе с обрабатывающей схемой позволяет значительно повысить точность измерений. 1
• Высокая надёжность и стойкость к внешним воздействиям. 1 Механические узлы MEMS в условиях вибраций и ударов, как правило, работают лучше благодаря малым размерам и массе. 1
• Низкая стоимость. 1 Стоимость устройств на основе MEMS значительно ниже, чем устройств, построенных без применения интегральной технологии. 1
• Малая тепловая инерционность и устойчивость к температурному расширению. 2 Могут использоваться как при низких, так и при высоких температурах, в условиях резких температурных перепадов. 2