В чем заключаются основные преимущества использования MEMS-технологий в современных датчиках?

Некоторые преимущества использования MEMS-технологий в современных датчиках:

• Микроминиатюрность. www.elinform.ru Применение технологии микросхем позволяет получать микромеханические и оптические узлы значительно меньших размеров, чем это возможно по традиционным технологиям. www.elinform.ru
• Высокая функциональность. www.elinform.ru Миниатюрность изделия и возможность изготовления датчиков, обрабатывающих схем и исполнительных механизмов в одном устройстве позволяют создавать законченные системы достаточно большой сложности в одном корпусе. www.elinform.ru
• Улучшенные характеристики функционирования. www.elinform.ru Электронная часть, а также электрические каналы связи с датчиками и механизмами, выполненные по интегральной технологии и имеющие малые размеры, позволяют улучшить такие характеристики, как рабочие частоты, ЭМС, соотношение сигнал/шум и т. п.. www.elinform.ru
• Высокая точность и повторяемость. www.elinform.ru Интегральное изготовление чувствительных элементов вместе с обрабатывающей схемой позволяет значительно повысить точность измерений. www.elinform.ru
• Высокая надёжность и стойкость к внешним воздействиям. www.elinform.ru Механические узлы MEMS в условиях вибраций и ударов, как правило, работают лучше благодаря малым размерам и массе. www.elinform.ru
• Низкая стоимость. www.elinform.ru Стоимость устройств на основе MEMS значительно ниже, чем устройств, построенных без применения интегральной технологии. www.elinform.ru
• Малая тепловая инерционность и устойчивость к температурному расширению. dzen.ru Могут использоваться как при низких, так и при высоких температурах, в условиях резких температурных перепадов. dzen.ru