В чем заключаются основные преимущества метода PACVD перед другими методами физического газофазного осаждения?

Некоторые преимущества метода PACVD перед другими методами физического газофазного осаждения:

• Более низкие температуры обработки. ru.kindle-tech.com Использование плазмы позволяет проводить осаждение при более низких температурах, что делает PACVD совместимым с более широким спектром подложек. ru.kindle-tech.com
• Усиленный контроль. ru.kindle-tech.com Процесс хорошо поддаётся контролю, что позволяет точно регулировать такие свойства плёнки, как толщина, состав и структура. ru.kindle-tech.com
• Универсальность. ru.kindle-tech.com PACVD может осаждать широкий спектр материалов, включая металлы, керамику и полупроводники, что делает его пригодным для различных применений. ru.kindle-tech.com
• Высокая скорость осаждения. apelvac.com portal.tpu.ru Часто достигаются более высокие скорости осаждения, чем в процессе обычного (термического) CVD. apelvac.com portal.tpu.ru
• Возможность осаждения материалов на термочувствительные подложки. ru.kindle-tech.com Это делает PACVD подходящим для осаждения материалов на полимеры или некоторые металлы. ru.kindle-tech.com