В чем заключаются основные преимущества метода PACVD перед другими методами физического газофазного осаждения?

Некоторые преимущества метода PACVD перед другими методами физического газофазного осаждения:

• Более низкие температуры обработки. 3 Использование плазмы позволяет проводить осаждение при более низких температурах, что делает PACVD совместимым с более широким спектром подложек. 3
• Усиленный контроль. 3 Процесс хорошо поддаётся контролю, что позволяет точно регулировать такие свойства плёнки, как толщина, состав и структура. 3
• Универсальность. 3 PACVD может осаждать широкий спектр материалов, включая металлы, керамику и полупроводники, что делает его пригодным для различных применений. 3
• Высокая скорость осаждения. 12 Часто достигаются более высокие скорости осаждения, чем в процессе обычного (термического) CVD. 12
• Возможность осаждения материалов на термочувствительные подложки. 3 Это делает PACVD подходящим для осаждения материалов на полимеры или некоторые металлы. 3