Значение технологического процесса в производстве полупроводниковых изделий заключается в обеспечении точности и надёжности. 5 Это важно, так как отказы в работе изделия приводят к нарушению ритмичности производства и экономическим потерям. 5

Также значение технологического процесса заключается в улучшении характеристик полупроводниковых приборов (микросхем, процессоров, микроконтроллеров и т. д.). 1 Совершенствование технологии и пропорциональное уменьшение размеров полупроводниковых структур влияют на размеры, энергопотребление, рабочие частоты и стоимость изделий. 1

Кроме того, достижения в области полупроводниковых технологий привели к повышению эффективности систем, миниатюризации и энергосбережению. 4 Это помогает сохранить глобальную окружающую среду. 4

Таким образом, технология изготовления полупроводниковых приборов должна быть точной и надёжной, чтобы параметры качества оставались стабильными в условиях серийного и массового производства. 5