Специфика производства интегральных схем (ИС) заключается в одновременном изготовлении всех ключевых компонентов за один цикл. dipaul.ru
Некоторые особенности процесса:
- Использование монокристалла кремния для изготовления полупроводниковых пластин. www.kommersant.ru Пластины круглые, и чем больше их диаметр, тем больше микросхем можно уместить на одной пластине и тем ниже себестоимость одной микросхемы. www.kommersant.ru
- Применение групповой технологии. elib.osu.ru dipaul.ru Одновременно производится целая партия ИС, вплоть до нескольких тысяч экземпляров. dipaul.ru
- Предпочтительность активных элементов перед пассивными. elib.osu.ru Минимальную площадь имеют активные элементы — транзисторы и диоды, а максимальную — пассивные. elib.osu.ru
- Использование принципа локальности технологических обработок. elib.osu.ru При одновременном формировании множества активных и пассивных элементов и межэлементных соединений ИС технологическому воздействию подвергается не вся поверхность, а лишь её отдельные локальные участки. elib.osu.ru
- Проведение технологических испытаний. elib.osu.ru cchgeu.ru Они делятся на климатические, механические и электрические. elib.osu.ru cchgeu.ru
- Использование различных материалов для подложек, например, для гибридных и плёночных микросхем применяют подложки из стёкол, ситаллов, фотоситаллов, керамик. elib.osu.ru
Процесс производства ИС считается одной из самых передовых и сложных производственных технологий в мире. www.pcbasic.com