Принцип работы пьезорезистивного датчика абсолютного давления основан на пьезорезистивном эффекте: чувствительный полупроводниковый элемент меняет своё сопротивление в зависимости от давления на него. 1

В корпусе датчика есть две камеры: внутренняя, из которой откачан воздух, и внешняя, сообщающаяся с впускным коллектором. 1 Камеры разделены мембраной, которая упруго деформируется в зависимости от изменения давления во впускном коллекторе. 1

При деформации мембрана механически воздействует на пьезорезистивный чувствительный элемент, в силу чего сопротивление последнего меняется. 1 Эти изменения сопротивления затем измеряются и преобразуются в соответствующий выходной сигнал. 3

Для защиты мембраны используется гелевое покрытие. 1