В чем заключается принцип работы пьезорезистивного датчика абсолютного давления?

Принцип работы пьезорезистивного датчика абсолютного давления основан на пьезорезистивном эффекте: чувствительный полупроводниковый элемент меняет своё сопротивление в зависимости от давления на него. www.drive2.ru

В корпусе датчика есть две камеры: внутренняя, из которой откачан воздух, и внешняя, сообщающаяся с впускным коллектором. www.drive2.ru Камеры разделены мембраной, которая упруго деформируется в зависимости от изменения давления во впускном коллекторе. www.drive2.ru

При деформации мембрана механически воздействует на пьезорезистивный чувствительный элемент, в силу чего сопротивление последнего меняется. www.drive2.ru Эти изменения сопротивления затем измеряются и преобразуются в соответствующий выходной сигнал. climatplc.ru

Для защиты мембраны используется гелевое покрытие. www.drive2.ru