Принцип работы MEMS-датчика давления заключается в преобразовании давления в выходной электрический сигнал. 3

В пьезорезистивном датчике используется высокоточный полупроводниковый тензорезистор для формирования моста Уитстона в качестве измерительной схемы силового электрического преобразования. 3 Физическая величина давления напрямую преобразуется в электричество. 3

В ёмкостном датчике технология MEMS применяется для создания сетки диафрагмы на кремниевой пластине. 3 Верхняя диафрагма смещается вниз под действием давления, что изменяет расстояние между сетками и ёмкость между пластинами. 3

В датчике поверхностных акустических волн (ПАВ) вибрация передаётся через тонкий слой пьезоэлектрического материала. 1 Волны улавливаются другим преобразователем и преобразуются обратно в электрический сигнал. 1 Изменения амплитуды или фазы акустического сигнала из-за деформации поверхности измеряются для определения давления. 1