В чем заключается преимущества сухого травления перед жидкостным при производстве полупроводниковых устройств?

Некоторые преимущества сухого травления перед жидкостным при производстве полупроводниковых устройств:

• Направленность. ru.semicorex.com Сухое травление позволяет более точно контролировать форму травления, что важно для создания структур с высоким соотношением сторон, например глубоких отверстий или канавок для конденсаторов. en.wikipedia.org www.syskey.com.tw
• Селективность. ru.semicorex.com Можно оптимизировать селективность травления, выбирая определённые травильные газы и параметры. ru.semicorex.com
• Высокое разрешение. ru.semicorex.com Сухое травление подходит для мелких деталей и глубокого травления траншей. ru.semicorex.com
• Безопасность и экологичность. www.syskey.com.tw Процесс сухого травления не требует использования жидких химикатов или травителей, поэтому является безопасным и экологически чистым. www.syskey.com.tw
• Подходит для материалов, которые обладают химической стойкостью и не поддаются жидкостному травлению, например карбида кремния или нитрида галлия. en.wikipedia.org
• Подходит для крупносерийного производства. www.syskey.com.tw Оборудование для сухого травления имеет разумные габаритные размеры и подходит для крупносерийного производства. www.syskey.com.tw