Практическое применение легирования полупроводников заключается в изменении их физических свойств (электрических, магнитных, оптических, механических и других) для получения заданных свойств. 4

Некоторые области применения:

• Производство солнечных фотоэлементов, полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. 2 Вырожденные (очень сильно легированные) полупроводники имеют уровни проводимости, сравнимые с металлами, и часто используются в интегральных схемах в качестве замены металла. 1
• Получение монокристаллического кремния с особо равномерным распределением атомов примеси. 3 Это необходимо, например, для легирования подложки, особенно для устройств силовой электроники. 3
• Получение полупроводников с малым временем жизни носителей или с высоким удельным сопротивлением. 4 Например, примеси Fe, Ni, Cr используют для получения полуизолирующих кристаллов широкозонных соединений. 4