В чём заключается эффект обратного распыления в процессе обратного распыления PVD?

Возможно, имелся в виду процесс физического осаждения из паровой фазы (PVD), в котором одним из распространённых процессов является распыление. en.wikipedia.org

Эффект обратного распыления в PVD может проявляться в том, что из-за селективного явления распыления различных составных элементов, различной скорости обратного распыления и силы сцепления плёнки состав слоя плёнки и цели может сильно отличаться. ru.ikstechnology.com

Процесс PVD характеризуется тем, что материал переходит из конденсированной фазы в паровую, а затем обратно в тонкоплёночную конденсированную фазу. en.wikipedia.org

PVD используется при производстве изделий, для которых требуются тонкие плёнки для выполнения оптических, механических, электрических, акустических или химических функций. en.wikipedia.org