Разница между точечными и протяжёнными дефектами заключается в размерах и характере нарушений в структуре кристалла. 12
Точечные дефекты имеют малые размеры в трёх измерениях, не превышающие нескольких атомных диаметров. 1 К ним относятся, например: вакансии (узлы в кристаллической решётке, свободные от атомов), межузельные атомы (атомы, находящиеся вне узлов кристаллической решётки), примесные атомы. 12
Протяжённые дефекты (линейные) — это нарушения в структуре кристалла, малые в двух измерениях, но сравнительно протяжённые в третьем. 2 К ним относятся, в частности:
Таким образом, точечные дефекты имеют локальный характер, а протяжённые — более значительные размеры и протяжённость.