Некоторые преимущества плазмохимического осаждения из газовой фазы перед другими методами нанесения покрытий:
Возможность работать при низких температурах. ru.ruwiki.ru rep.bntu.by Стимулированные плазмой реакции происходят при температурах, значительно меньших, чем в случае чисто термических реакций. rep.bntu.by Это позволяет наносить или выращивать покрытия на подложках, не имеющих условий для термического осаждения стабильностью. rep.bntu.by
Высокая скорость осаждения. rep.bntu.by В сравнении с термической реакцией активация плазмой увеличивает скорость осаждения и даёт возможность получать плёнки с уникальным составом. rep.bntu.by
Получение покрытий, которые недостижимы иными методами. ru.ruwiki.ru Например, этим методом успешно получают алмазные плёнки и даже относительно толстые изделия, такие как окна для оптических систем. ru.ruwiki.ru
Исключение радиационных повреждений подложки. ru.ruwiki.ru В плазме газового разряда происходит только разложение исходных веществ, в то время как сама подложка не подвергается её действию. ru.ruwiki.ru Это позволяет снизить тепловое воздействие на неё и исключить радиационные повреждения. ru.ruwiki.ru
Примеры полезных ответов Поиска с Алисой на вопросы из разных сфер. Вопросы сгенерированы нейросетью YandexGPT для актуальных тем, которые определяются на базе обобщённых запросов к Поиску с Алисой.