Некоторые преимущества плазмохимического осаждения из газовой фазы перед другими методами нанесения покрытий:

• Возможность работать при низких температурах. 23 Стимулированные плазмой реакции происходят при температурах, значительно меньших, чем в случае чисто термических реакций. 3 Это позволяет наносить или выращивать покрытия на подложках, не имеющих условий для термического осаждения стабильностью. 3
• Высокая скорость осаждения. 3 В сравнении с термической реакцией активация плазмой увеличивает скорость осаждения и даёт возможность получать плёнки с уникальным составом. 3
• Получение покрытий, которые недостижимы иными методами. 2 Например, этим методом успешно получают алмазные плёнки и даже относительно толстые изделия, такие как окна для оптических систем. 2
• Исключение радиационных повреждений подложки. 2 В плазме газового разряда происходит только разложение исходных веществ, в то время как сама подложка не подвергается её действию. 2 Это позволяет снизить тепловое воздействие на неё и исключить радиационные повреждения. 2