В чем преимущества магнетронного напыления перед другими методами нанесения покрытий?

Некоторые преимущества магнетронного напыления перед другими методами нанесения покрытий:

• Возможность управления свойствами растущей плёнки. earchive.tpu.ru Это достигается за счёт выбора рабочих параметров (мощность, давление, плотность ионного тока и т. д.). earchive.tpu.ru
• Уменьшение степени электронного воздействия на подложку. earchive.tpu.ru Высокоэнергетичные вторичные электроны захватываются магнитной ловушкой, что снижает электронную бомбардировку поверхности подложки и её нагрев. earchive.tpu.ru
• Возможность нанесения покрытий на большие площади. apelvac.com Например, до 3×6 м². apelvac.com
• Возможность распыления различных материалов. apelvac.com russianelectronics.ru Это могут быть металлы и сплавы, простые и сложные диэлектрики, полупроводники и керамика. apelvac.com
• Получение сверхтонких покрытий (менее 20 нм) с меньшими радиационными дефектами. rep.bntu.by
• Относительно низкая стоимость метода осаждения. apelvac.com
• Возможность нанесения как проводников, так и диэлектриков. rep.bntu.by
• Возможность автоматизации установки и прописанный регламент работ по чистке и замене мишеней, что гарантирует воспроизводимость свойств покрытий и снижает требования к персоналу. epos-nsk.ru