Некоторые преимущества магнетронного напыления перед другими методами нанесения покрытий:

• Возможность управления свойствами растущей плёнки. 4 Это достигается за счёт выбора рабочих параметров (мощность, давление, плотность ионного тока и т. д.). 4
• Уменьшение степени электронного воздействия на подложку. 4 Высокоэнергетичные вторичные электроны захватываются магнитной ловушкой, что снижает электронную бомбардировку поверхности подложки и её нагрев. 4
• Возможность нанесения покрытий на большие площади. 1 Например, до 3×6 м². 1
• Возможность распыления различных материалов. 13 Это могут быть металлы и сплавы, простые и сложные диэлектрики, полупроводники и керамика. 1
• Получение сверхтонких покрытий (менее 20 нм) с меньшими радиационными дефектами. 2
• Относительно низкая стоимость метода осаждения. 1
• Возможность нанесения как проводников, так и диэлектриков. 2
• Возможность автоматизации установки и прописанный регламент работ по чистке и замене мишеней, что гарантирует воспроизводимость свойств покрытий и снижает требования к персоналу. 5