Некоторые преимущества использования жидких фотополимеризующихся композиций (ЖФПК) для формирования микрорельефа:
- Возможность получения микрорельефа с непрерывным профилем в диапазоне от единиц до десятков микрон. 1
- Возможность получения любой заданной высоты рельефа (в интервале 0–100 мкм) с возможностью непрерывного контроля. 1
- Значительный рост микрорельефа в постэкспозиционный период (в 10–15 раз). 1
- Рельефообразование за счёт массопереноса олигомера из тёмных зон в светлые. 1 При этом уровень рельефа в светлых местах превышает начальный уровень, а в тёмных — ниже начального. 1
- Рельефная поверхность оптических элементов, изготовленных по данной технологии, является оптически гладкой и обладает зеркальным блеском. 1
- Снижение трудоёмкости изготовления за счёт послойного наращивания фоторезиста. 34
ЖФПК используются, например, для создания дифракционных оптических элементов, которые применяются в устройствах обработки и передачи информации, в силовой и изобразительной оптике. 14