В чем преимущества использования плазмы в процессе химического осаждения из газовой фазы?

Некоторые преимущества использования плазмы в процессе химического осаждения из газовой фазы:

• Снижение температуры процесса. bigenc.ru Из-за столкновений между положительными ионами плазмы и нейтральными реакционными молекулами температура осаждения из газовой фазы может значительно снизиться. bigenc.ru Например, реакция между силаном и аммиаком для осаждения нитрида кремния обычно протекает при температуре около 850 °C, но в условиях реакции с плазмой образование нитрида кремния происходит при температуре около 350 °C. bigenc.ru
• Возможность получения покрытий при низких температурах. ru.ruwiki.ru ru.kindle-tech.com Это делает процесс подходящим для нанесения материалов, чувствительных к температуре или изменяющих свои характеристики при высоких температурах. ru.kindle-tech.com
• Получение покрытий разного состава, структуры и свойств. www.plasmacentre.ru Выбор формул прекурсоров и реактивных газов влияет на характеристики покрытия, такие как износостойкость, физико-механические свойства, термическая стабильность, химическая стойкость и другие. www.plasmacentre.ru
• Минимизация тепловой нагрузки на подложку. www.plasmacentre.ru Применение удалённой плазмы с учётом разнесения зон её возбуждения и роста покрытия позволяет снизить тепловое воздействие на подложку. www.plasmacentre.ru
• Возможность получения плёнок различных соединений. portal.tpu.ru При введении в газоразрядную плазму химически активных (реактивных) газов можно получать плёнки различных соединений, например, окислов или нитридов. portal.tpu.ru