В чем преимущества использования метода ИЛО для выращивания тонких пленок?

Некоторые преимущества использования метода импульсного лазерного осаждения (ИЛО) для выращивания тонких плёнок:

• Возможность получения сверхтонких сплошных плёнок и наноструктур металлов, полупроводников и диэлектриков с различными структурными характеристиками. www.laser.ru
• Точность контроля толщины плёнок. nrcki.ru www.laser.ru Импульсный характер осаждения и высокая плотность образования зародышей позволяют получать слои нанометрового диапазона с прецизионной точностью (≤ 0,5 нм). www.laser.ru
• Управление свойствами плёнок. e.lanbook.com Можно контролировать фазовый состав и толщину плёнок путём подбора параметров, таких как температура подложки и плотность энергии лазерного импульса на мишени. e.lanbook.com
• Широкий диапазон давлений роста. www.issp.ac.ru Метод позволяет проводить процесс в условиях от сверхвысокого вакуума до 101 Па, что даёт возможность получать плёнки в атмосфере реактивных газов. www.issp.ac.ru
• Отсутствие ограничений на вид испаряемого вещества. studvesna.ru Конструктивная простота метода и отсутствие ограничений позволяют оперативно получать плёнки из материалов с различными свойствами без каких-либо конструкционных изменений в напылительном оборудовании. studvesna.ru
• Низкая стоимость оборудования и материалов по сравнению с другими методами роста. nrcki.ru