В чём преимущества и недостатки различных методов травления арсенида галлия?

Некоторые методы травления арсенида галлия и их особенности:

• Реактивное ионно-лучевое травление. new-disser.ru Обеспечивает высокую скорость удаления поверхностного слоя (до 2 раз) при сохранении неизменным химического состава по сравнению с исходным. new-disser.ru Однако при таком методе поверхностные слои обогащаются мышьяком. new-disser.ru
• Плазмохимическое травление. journals.ioffe.ru main.isuct.ru При травлении арсенида галлия в смеси хлор-водород скорость процесса увеличивается (примерно в 1,5 раза выше, чем в чистом хлоре). main.isuct.ru Однако при содержании азота более 20% скорость взаимодействия быстро уменьшается. main.isuct.ru
• Жидкостное травление. journals.ioffe.ru Позволяет удалить тонкий верхний загрязнённый слой без подтрава под маску. journals.ioffe.ru Однако полностью очистить образец от загрязнений этим способом невозможно, так как часть примесей остаётся на боковых стенках профиля. journals.ioffe.ru
• Химическое травление с помощью металла. www.photonics.com Метод мокрого травления, который включает два этапа: нанесение тонкой плёнки металла с рисунком и погружение полупроводника с металлическим рисунком в химический раствор. www.photonics.com Металл катализирует реакцию таким образом, что вытравливаются только участки, соприкасающиеся с металлом. www.photonics.com

Каждый метод имеет свои преимущества и недостатки, поэтому выбор метода травления зависит от конкретных требований к процессу и характеристикам поверхности арсенида галлия.