В чём преимущества и недостатки различных методов травления арсенида галлия?

Некоторые методы травления арсенида галлия и их особенности:

• Реактивное ионно-лучевое травление. 1 Обеспечивает высокую скорость удаления поверхностного слоя (до 2 раз) при сохранении неизменным химического состава по сравнению с исходным. 1 Однако при таком методе поверхностные слои обогащаются мышьяком. 1
• Плазмохимическое травление. 35 При травлении арсенида галлия в смеси хлор-водород скорость процесса увеличивается (примерно в 1,5 раза выше, чем в чистом хлоре). 5 Однако при содержании азота более 20% скорость взаимодействия быстро уменьшается. 5
• Жидкостное травление. 3 Позволяет удалить тонкий верхний загрязнённый слой без подтрава под маску. 3 Однако полностью очистить образец от загрязнений этим способом невозможно, так как часть примесей остаётся на боковых стенках профиля. 3
• Химическое травление с помощью металла. 2 Метод мокрого травления, который включает два этапа: нанесение тонкой плёнки металла с рисунком и погружение полупроводника с металлическим рисунком в химический раствор. 2 Металл катализирует реакцию таким образом, что вытравливаются только участки, соприкасающиеся с металлом. 2

Каждый метод имеет свои преимущества и недостатки, поэтому выбор метода травления зависит от конкретных требований к процессу и характеристикам поверхности арсенида галлия.