В чём преимущества и недостатки метода газофазной эпитаксии кремния по сравнению с другими методами?

Преимущества метода газофазной эпитаксии кремния (ГФЭ) по сравнению с другими методами:

• Высокая скорость роста плёнок и производительность, которая достигается путём одновременного осаждения слоя на нескольких подложках. www.unn.ru
• Возможность выращивать однородные слои большой площади. www.unn.ru
• Простота и относительная дешевизна технологического оборудования. www.unn.ru
• Сравнительно низкая температура и небольшое время эпитаксиального наращивания почти исключает перераспределение примесей из-за диффузии. studizba.com

Некоторые недостатки ГФЭ:

• Высокая температура роста слоёв приводит к заметной диффузии примесей из сильнолегированной подложки в слой, что изменяет концентрацию примеси в слое. www.unn.ru
• Из-за инерционности процесса напуска и откачки газов возникают сложности в получении многослойных структур с резкой границей раздела между слоями. www.unn.ru
• Использование газов (большинство гидридов взрывоопасны и токсичны) требует строгого соблюдения техники безопасности от обслуживающего персонала. www.unn.ru
• Ограничение: невозможно наращивать эпитаксиальную плёнку на сапфировых подложках, поскольку хлористый водород при этих условиях травит сапфир. ru.wikipedia.org