В чем преимущества и недостатки контактной и бесконтактной фотолитографии?

Контактная фотолитография предполагает прямой контакт заготовки и шаблона. dipaul.ru Преимущества: за счёт этого обеспечивается высокая разрешающая способность (около 0,5 мкм). dipaul.ru

Недостатки:

• поверхность пластины не является идеально ровной, из-за чего при прижиме между ней и шаблоном в случайных местах образуются микрозазоры, которые приводят к локальным деформациям изображения; dipaul.ru
• из-за физического контакта шаблон со временем изнашивается и требует периодической замены. dipaul.ru

Бесконтактная фотолитография отличается отсутствием фотошаблонов, изображение на фоторезисте формируется напрямую. dipaul.ru Преимущества:

• позволяет снизить время экспонирования (до 2–3 с); studizba.com
• увеличивает срок службы фотошаблонов. studizba.com

Недостатки:

• при наличии зазора дифракция света уменьшает разрешающую способность и одновременно ухудшает чёткость изображения. cstor.nn2.ru

Таким образом, выбор между контактной и бесконтактной фотолитографией зависит от конкретных требований к процессу и условиям работы.