В чем преимущества и недостатки ионно-плазменного травления перед химическим?

Преимущества ионно-плазменного травления перед химическим:

• Высокая эффективность очистки поверхности от различных загрязнений и адсорбированных газов. {6-host} Это делает ионно-плазменное травление незаменимым для предварительной очистки подложек перед нанесением функциональных слоёв. {6-host}
• Возможность наносить насечки и делать пазы с точностью до 10 нм. vt-metall.ru {7-host} Поэтому метод активно используется в микроэлектронике. vt-metall.ru {7-host}

Недостатки ионно-плазменного травления:

• Низкая селективность при одновременном травлении нескольких материалов. studfile.net Большинство из них имеет близкие по значению коэффициенты распыления, а следовательно, и скорость травления. studfile.net
• Значительные радиационные и тепловые воздействия, вызывающие разрушения контактных масок, деградацию электрофизических параметров структур и необходимость охлаждения образцов при травлении. tech-e.ru {8-host}