В чем преимущества и недостатки диэлектрической изоляции перед классической планарной технологией?

Преимущества диэлектрической изоляции перед классической планарной технологией:

• Хорошая изоляция элементов. 1 Диэлектрическая изоляция обеспечивает очень малую ёмкость, образованную слоем оксида. 1
• Возможность изготовлять на одном кристалле высокочастотные и низкочастотные диоды. 1 Также она облегчает получение на одном кристалле транзисторов типов n-p-n и p-n-p. 1

Недостатки диэлектрической изоляции:

• Высокая стоимость технологического процесса по сравнению с процессами изоляции p-n-переходами. 1
• Значительные внутренние механические напряжения, возникающие в результате различия КТР изоляционного и полупроводникового материалов. 2

Таким образом, выбор между диэлектрической изоляцией и классической планарной технологией зависит от конкретных требований и задач производства.