Отличия жидкостного, электрохимического и сухого травления заключаются в используемых методах и процессах:

1. Жидкостное травление основано на разрушении технологических слоёв в химических реагентах. 2 Для удаления материала используют жидкие растворы, например, плавиковую кислоту и соляную кислоту. 10 Этот метод подходит для случаев, когда требуется равномерное удаление во всех направлениях. 10

2. Электрохимическое травление основано на химических превращениях, которые происходят при электролизе. 4 Полупроводниковую пластину (анод) и металлический электрод (катод) помещают в электролит, через который пропускают электрический ток. 4 Процесс сочетает очистку от загрязнений и растворение металла заготовки. 9 Электрохимическое травление более безопасно и даёт больше возможностей для достижения результата. 5

3. Сухое травление предполагает удаление материала без использования жидких веществ. 6 Для этого на материал воздействуют бомбардировкой ионами (обычно плазмой химически активных газов). 6 Сухое травление обеспечивает лучший контроль над профилями травления, что делает его пригодным для применений, требующих мелких деталей и высокой точности. 10 Сухое травление особенно полезно для материалов и полупроводников, которые обладают химической стойкостью и не поддаются жидкостному травлению, например, карбида кремния или нитрида галлия. 6