В чем отличие сверхвысокого вакуума от низкого и высокого вакуума?

Отличие сверхвысокого вакуума от низкого и высокого заключается в степени разреженности газа.

Низкий вакуум характеризуется давлением 105–102 Па (103–100 мм рт. ст.). otvet.mail.ru Если по сравнению с окружающей атмосферой уменьшить количество молекул газа в литре хотя бы в 10 раз, то получится низкий вакуум. www.techinsider.ru

Высокий вакуум соответствует давлению 10-1–10-5 Па (10-3–10-7 мм рт. ст.). otvet.mail.ru В таком вакууме длина пробега молекулы без соударения с другими молекулами больше размера сосуда. habr.com Высокий вакуум используют в устройствах, где применяется электронный поток: электронных лампах и микроскопах, кинескопах, рентгеновских аппаратах. habr.com

Сверхвысокий вакуум соответствует давлению 10-5 Па и ниже (10-7–10-11 мм рт. ст.). otvet.mail.ru В сверхвысоком вакууме так мало молекул, что любая поверхность долго остаётся чистой. www.techinsider.ru Сверхвысокий вакуум нужен для получения очень чистых поверхностей, не содержащих адсорбированных газов, при этом чистота поверхности сохраняется тем дольше, чем выше вакуум в системе. habr.com