Некоторые особенности чистых помещений в электронной промышленности:

• Контроль за микрочастицами. 13 В таких помещениях важно контролировать количество и размер частиц, превышающих определённую величину (например, 0,1, 0,3 или 0,5 микрона). 13
• Ламинарная вентиляция. 14 Воздух движется сверху вниз без турбулентностей. 4 При таком потоке частицы не разлетаются по всему помещению, а собираются потоком у пола. 4
• Избыточное давление. 14 Создаётся дисбаланс воздуха: количество приточного воздуха должно превышать вытяжку минимум на 20% при условии, что помещение находится в центре здания, и не менее 30% при наличии остекления. 4
• Антистатический пол. 5 Это обязательное требование помещений электронных производств. 5 Электростатические разряды притягивают загрязняющие вещества, поэтому использование антистатического пола необходимо. 5
• Регламентация движений сотрудников. 13 Перемещения необходимо свести к минимуму, а сами движения не должны быть порывистыми, чтобы не создавать дополнительные воздушные потоки. 13
• Специальная подготовка персонала. 1 Сотрудники, входящие в чистое помещение, должны пройти специальную подготовку: переодеться в чистую одежду, надеть специальный костюм с антистатическими нитями, маску и перчатки. 13
• Требования к поверхностям. 5 Стены и потолки должны быть герметичными, износостойкими, гладкими, устойчивыми к воздействию моющих средств и дезрастворов. 5 Также они не должны выделять вредных веществ и быть доступными для уборки. 5

Чистые помещения в электронной промышленности играют ключевую роль в обеспечении высокого качества создаваемых изделий. 2