Точное измерение объёмов в микроэлектронике важно по следующим причинам:

• Обеспечение единства линейных измерений в субмикронном диапазоне. 1 Этого можно достичь, если проводить калибровку измерительных устройств по эталонным образцам — мерам малой длины. 1
• Выявление дефектов на полупроводниковых пластинах в процессе их обработки. 2 Например, при формировании транзисторных структур, элементов топологии и т. п.. 2
• Проверка соответствия критериям надёжности электронных компонентов. 3 Это выявляется в процессе испытаний, а выявляется посредством измерений (до и после каждого воздействия). 3

Таким образом, точные измерения объёмов помогают создавать более качественные и надёжные электронные устройства.