Вакуумные насосы способны создавать сверхвысокое давление благодаря своим конструктивным особенностям и принципу работы. 12

Кинетические вакуумные насосы передают импульсную энергию молекулам перекачиваемой среды от вращающейся с большой скоростью крыльчатки и выталкивают их в выходную трубу. 1 Такая методика позволяет добиться сильного сжатия при небольшом давлении, но при этом камеры не обладают высокими показателями герметичности. 1

В насосах объёмного действия камеры герметичнее, а газ сдавливается поршневым механическим элементом, после чего отводится в выходное отверстие. 1

Улавливающие насосы основаны на захвате частиц газа и удержании их внутри объёма на поверхностях вакуумной камеры. 1 Их конструкционное отличие состоит в отсутствии подвижных механических узлов. 1

Магнитные электроразрядные насосы подходят для получения сверхвысокого вакуума при условии, что производительность по газу является относительно низкой. 2 В силу простоты конструкции и отсутствия движущихся деталей они высоконадёжны, легко дегазируются и обеспечивают практически бесперебойную эксплуатацию. 2