Несколько причин, почему в современных МЭМС-устройствах трудно уменьшить трение:
  - Малые размеры деталей.                                                                          elementy.ru                       Даже если ввести смазку в субмикронный зазор, возникнут капиллярные силы, которые гораздо больше рабочих усилий, развиваемых механизмом.                                                                          elementy.ru                       
  - Доминирование поверхностных сил.                                                                          files.pilotlz.ru                       Согласно законам пропорциональной миниатюризации, на микро- и наноуровне поверхностные силы доминируют над объёмными.                                                                          files.pilotlz.ru                       
  - Влияние слабых сил.                                                                          www.ng.ru                       Слабые силы, такие как силы Казимира, могут оказывать заметное влияние на различные процессы, в том числе адгезионные, особенно в экстремальных условиях.                                                                          www.ng.ru                       
  - Влияние типа взаимодействующих материалов и состояния их поверхности.                                                                          files.pilotlz.ru                       На величину трения влияет адгезионное сродство материалов.                                                                          files.pilotlz.ru                       
  
 Для уменьшения трения в МЭМС-устройствах используют, например, нанодисперсные твердосмазочные добавки.                                                                          elementy.ru                       Они позволяют снизить трение при существенно меньших концентрациях по сравнению с традиционными подходами.                                                                          elementy.ru                       Также для уменьшения трения создают специальные виды шероховатости поверхности на наноуровне.                                                                          www.ng.ru