Точность на уровне нескольких нанометров важна в производстве процессоров по нескольким причинам:

• Снижение энергопотребления и тепловыделения. 3 Маленький транзистор требует меньше энергии для переключения и меньше греется. 3
• Повышение плотности. 3 На той же площади кристалла можно разместить больше транзисторов, увеличив производительность. 3
• Увеличение скорости. 3 Уменьшается расстояние, которое должны пройти электроны, что потенциально увеличивает количество операций за единицу времени, которые может совершить чип — его тактовую частоту. 3
• Экономические преимущества. 1 Можно создать больше чипов с одной кремниевой пластины, что снижает себестоимость массового производства и улучшает энергоэффективность конечных устройств. 1

Однако есть и исключение: при повышении плотности кристалла на текущем уровне технологий может увеличиваться его нагрев, что приводит к снижению производительности. 4