Точность измерений в микронах важна в микроэлектронике по нескольким причинам:

• Совершенствование технологии. 4 Уменьшение размеров структур способствует улучшению характеристик полупроводниковых приборов (микросхем, процессоров, микроконтроллеров и т. д.). 4 Это касается, в частности, потребления электроэнергии и повышения производительности. 4
• Контроль технологического процесса. 2 Без измерения размеров невозможен ни дальнейший развитие технологии, ни её применение в производстве. 2
• Определение формы элементов. 5 По мере усложнения топологического рисунка микроэлектронных структур важно знать форму элементов, их высоту и угол наклона боковой стенки. 5
• Калибровка измерительного оборудования. 5 Для обеспечения достоверности и единства измерений необходимо проводить калибровку измерительных устройств по эталонным образцам — мерам малой длины. 5